核心组成与工作原理

- 照明与光学成像系统、垂直扫描系统以及数据处理与分析软件共同构成完整测量链路。

- 采用非接触式扫描方式，形成器件表面的三维图像，利用软件对3D数据进行统计和分析。

性能指标与应用范围

- 分辨率为0.1微米，重复性为0.1%。

- 操作简便，具备自动聚焦能力，能够快速获取2D与3D表面粗糙度、轮廓等上百项参数。

- 适用于各种产品、部件与材料表面的平整度、粗糙度、孔隙间隙、弯曲变形、腐蚀迹象、表面缺陷、台阶高度、波纹度、磨损、面形轮廓及加工状态等表面形貌特征的测量与分析。

核心特性

1) 高精度与高重复性

- 以光学干涉、精密Z向扫描和高效3D重建算法为支撑，确保测量精度。

- 配置隔振系统，有效隔离大部分工作环境振动，提升测量的一致性与稳定性。

2) 环境噪声检测

- 内置0.1纳米分辨率的环境噪声检测模块，可定量评估外界振动对测量的干扰，为设备调试与日常监控提供量化数据。

3) 精密操纵手柄

- 集成X、Y、Z三轴位移调整，便于快速完成载物台平移、焦点调节与找条纹等前期测量准备。

4) 双重防撞保护

- 软件层面设有Z向下限防撞；硬件层面在Z轴配备机械电子传感器，触及样品时自动进入紧急停止，最大限度降低使用风险。

5) 双通道气浮隔振

- 支持接入现场稳定气源或标配静音空压机，即使无外部气源也能稳定运行。

测量与分析软件能力

(1) 一体化操作界面

- 测量与分析在同一软件中完成，预设配置后即可进行测量，自动统计并导出数据报表，支持批量测量。

(2) 自动化测量功能

- 支持多区域自动测量、批量测量、自动聚焦与自动亮度调节等自动化流程。

(3) 拼接测量

- 提供拼接测量功能，适用于大面积样品的整合分析。

(4) 数据处理模块

- 提供调整位置、纠正、滤波、提取四大类处理功能；包括图像对齐、镜像处理、空间滤波、边缘去噪、形状去除、标准滤波、频谱过滤，以及区域/剖面的提取。

(5) 五大分析模块

- 粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析。

- 粗糙度分析覆盖ISO标准相关参数（线粗糙度、面粗糙度、平整度等）。

- 几何轮廓分析涵盖台阶高、距离、角度、曲率等，并能评定直线度、圆度等公差。

- 结构分析测量孔洞体积、波谷深度等特征。

- 频率分析包含纹理方向与频谱分析等信息。VSport

- 功能分析涉及SK参数与体积参数等指标。

(6) 一键与多文件分析

- 提供一键分析和多文件分析、分析模板功能，结合自动测量与批量测量，支持对小尺寸高精密部件的批量分析与直接获取结果。对于大尺寸样品提供拼接测量能力。

综合优势与应用场景

- 结合相移法PSI的高精度与垂直法VSI的大尺度测量能力，覆盖从超光滑到粗糙、从平面到弧面的各类表面，极大简化3D测量流程并提升分析效率。