国家知识产权局信息显示,杜邦电子材料国际有限责任公司申请一项名为“盐和包含其的光致抗蚀剂”的专利◁▼,公开号CN121232527A★,申请日期为2018年10月◁。
专利摘要显示,本申请涉及盐和包含其的光致抗蚀剂▷-▲。提供新Te盐化合物■△,其包括适用于极紫外光刻的光活性碲盐化合物○▽▽。
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