为当前主流精密制程的半导体极紫外光(EUV)、
作者:VSport  日期:2025-12-27  浏览:  来源:VSport体育

  据中国政府采购网公示,12月25日,上海微电子装备(集团)股份有限公司中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目,设备数量为一台,成交金额10999.985万元(约1.1亿元)。

  公开资料显示◇,上海微电子隶属上海电气集团,为中国半导体装备领域的核心企业,尤其在高端光刻机的研发与制造方面处于国内领先地位。今年5月,上海微电子已经官宣实现90nm ArF光刻机实现量产。

  首先,此次的货物型号为SSC800/10,其中□“SSC○◇◇”为首次公开的光刻机型号代号=★☆。

  代号中□=,“SS▲☆”或代表“步进扫描式…”,为当前主流精密制程的半导体极紫外光(EUV)、深紫外光(DUV)光刻机的机械工作方案。目前上海微电子量产的光刻机★☆,包括前道制造、浸没式光刻机“SSA”“SSX”“SSB◁▷”等系列。

  根据《政府采购法》,“单一来源采购▪◇▼”的情况=▷,仅被允许在因货物或服务使用了不可替代的专利▲▪-、专有技术,或者公共服务项目有特殊要求,导致只能从某一特定供应商处采购◁▷;包括不可预见的紧急情况;保证原有项目一致性或服务配套;以及招标失败等情况。

  而从“zycgr22011903”过去一段时间的半导体相关开标情况来看●▪△,该主体在半导体领域分别招标了包括晶圆清洗机、椭偏仪◇、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)▷○-、原子层刻蚀设备(ALE)、电子束光刻机中标公告。

  从金额来看,上海微电子约1.1亿元的中标金额,与大量光刻机相关招标▪○,总计百万或小千万级别的中标金额有较大差距。

  另一方面,全球知名光刻机企业阿斯麦的光刻机整机价格,DUV和EUV光刻机分别在5亿元人民币和10亿元人民币以上,价格仍然远高于上海微电子-•=。

  其他国内光刻机进展方面,今年以来,哈尔滨工业大学成功研发13•▪.5nm极紫外光刻光源,中科院上海光机所的深紫外光源系统提升工艺极限至3纳米理论值。种种迹象显示,我国在光刻机领域正获得突破性进展。

  而相关中标信息也迅速在资本市场掀起波澜,当天午后光刻机概念即异动拉升▪,张江高科直线%☆,国风新材直线涨停,华软科技、华融化学、高盟新材等概念股也均有冲高表现。

  值得注意的是▲,今年以来光刻机板块受到资金热烈追捧==,年内涨幅已超76%;其中,48只概念股已有13股年内股价实现翻倍。

  (声明:文章内容仅供参考◁◁△,不构成投资建议…●。投资者据此操作,风险自担。)

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